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外形尺寸 |
420(L)×330(D)×335(H) mm |
操作界面 |
彩色觸摸屏、全數字顯示 |
蒸發源 |
高純碳纖維(φ0.8mm) |
蒸發源數量 |
4根 |
蒸發模式 |
連續蒸發、脈沖蒸發 |
工作模式 |
全自動、手動 |
預熱除氣 |
有 |
除氣擋板 |
自動 |
真空泵 |
旋片式真空泵 |
真空泵抽速 |
1.1L/s |
真空室 |
高硅硼玻璃 ~φ170×130mm |
極限真空 |
≤1Pa |
樣品臺 |
≥φ90mm |
工作真空 |
≤2Pa |
供電 |
AC220V/50Hz |
額定功率 |
800W |
蒸發源狀態 |
系統上電后自動檢測4根蒸發源通斷情況,并在主界面顯示 |
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保護功能 |
真空保護、過流保護、過壓保護等 |
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其它 |
真空、電流、電壓可實時曲線 顯示 |
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選配 |
分子泵(高真空模式)、樣品臺旋轉、膜厚監測、溫度檢測等 |
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